與傳統(tǒng)光學顯微鏡相比,，激光共聚焦顯微鏡具有更高的分辨率，實現多重熒光的同時觀察并可形成清晰的三維圖像等優(yōu)點,。中圖儀器VT6000系列3d共聚焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,，從而實現器件表面形貌3D測量,。

技術指標

可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性,。

產品功能

(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

(2)設備具備自動拼接功能,，能夠快速實現大區(qū)域的拼接縫合測量,；

(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數再進行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數據并提供數據報表導出功能,，即可快速實現批量測量功能；

(4)設備具備調整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,；

(5)設備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現批量數據文件的快速分析功能,；

性能特點

（1）結構簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內,，亦可采用筆記本電腦驅動,，真正實現了“拎著走"的便攜式設計；

（2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,，對細節(jié)的展現纖毫畢現,；

（3）操作便捷：采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,，實現了所見即所得的快速檢測效果；

（4）安全無憂：采用自研的電動鼻輪塔臺,，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

VT6000系列3d共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié),，顯示出精細的細節(jié)圖像,。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率,，更加快捷準確地完成日常任務,。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現更準確的操作,?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準,。